- Wafer with Calibrated Tox (WS-TOX) A 100mm, low-resistivity silicon wafer with an oxide coating of known thickness. Use to calibrate or check Mercury Probe. Nominal oxide thickness is 1000 Angstroms.
- Wafer with Calibrated Resistivity (WS-RES) A 100mm, bulk silicon wafer with known resistivity. Use to calibrate the diameter and stray capacitance of the Mercury Probe.
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